Проектирование вентиляции и систем очистки воздуха

Чистые помещения для микроэлектроники

 
Одной из ключевых характеристик в высокотехнологичных отраслях при производстве продукции являются жесткие требования к чистоте воздуха. К таким производствам относятся:

Микроэлектроника и
приборостроение

Оптика и лазеры

Космические технологии

Современный научно-технический прогресс тесно связан с развитием микроэлектроники. Успехи электроники являются результатом создания различных по своим свойствам полупроводниковых приборов.

Топографические размеры микросхем, которые производит данная промышленная сфера, постоянно уменьшаются и исключать их повреждения в процессе изготовления становится все сложнее.

Это значит, что каждый микроб или пылинка, ион химических соединений, используемых в производстве, любая частичка испарений с поверхностей приборов, участвующих в технологическом процессе, любой элемент, не видимый невооруженным глазом, могут создать в микросхеме критический дефект, т.е. брак. Именно поэтому качество производственного процесса в микроэлектронике напрямую зависит от чистоты воздушной среды.

Особенно высокие требования к чистым помещениям в электронике стали предъявляться в связи с развитием субмикронных и нанотехнологий.

Основные принципы комплексов чистых помещений

Обеспечить качественную воздушную среду с учетом различных особенностей производства конечного продукта отрасли можно с помощью создания комплексов чистых помещений, основными принципами которых являются:
01 Зонирование на функциональные модули помещений;
02 Создание физического барьера между модулями;
03 Создание физического барьера между модулями и строительными конструкциями здания;
04 Обеспечение требуемого расчетного воздухообмена;
05 Подготовка приточного воздуха с требуемыми параметрами по влажности, температуре и чистоте;
06 Рациональная организация перетоков воздуха из более чистых модулей в менее чистые;
07 Распределение воздуха в модулях с организацией заданного направления его движения, учитывающего особенности помещения и технологического процесса;
08 Высокоэффективную очистку внутреннего воздуха модулей.

Комплексы чистых помещений создаются с соблюдением требований действующих межгосударственных стандартов серии ГОСТ ИСО 14644-1-2002 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».

Светильники

... Подробнее

Классификация чистых помещений по ГОСТ ИСО 14644-1

Класс чистоты Предельно допустимое число частиц в 1 м3 воздуха с размерами, равными или превышающими, мкм
blue 0,1 0,2 0,3 0,5 1 5
ИСО 1 10 - - - - -
ИСО 2 100 24 10 - - -
ИСО 3 1 000 237 102 35 - -
ИСО 4 10 000 2 370 1 020 352 83 -
ИСО 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 -
ИСО 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ИСО 7 - - - 352 000- 83 200 2 930
ИСО 8 - - - 3 520 000 832 000 29 300
ИСО 9 - - - 35 200 000 8 320 000 293 000
Большое спасибо! Данные были успешно отправлены.
Мы свяжемся с Вами в ближайшее время!